半導體潔淨室
亦稱為無塵室或清淨室。是指將一定空間範圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等汙染物排除,並將室內之溫度、潔淨度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪 音振動及照明、靜電控製在某一需求範圍內,而所給予特別設計之房間。
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