電子無塵車間
潔淨車間,亦稱潔淨室、無塵車間、無塵室或清淨室。潔淨室的主要功能為室內汙染控製,沒有潔淨室,汙染敏感零件不可能批量生產。在FED-STD-2裏麵,潔淨室被定義為具備空氣過濾、分配、優化、構造材料和裝置的房間,其中特定的規則的操作程序以控製空氣懸浮微粒濃度,從而達到適當的微粒潔淨度級別。
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