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潔淨室的八種排風係統介紹
來源：www.zmj66.cn 發布時間：2026-03-27 07:19:23
在微電子用潔淨室、藥品生產用潔淨室中，常常在產品生產過程中使用或產生，各種酸性和堿性物質、有機溶劑和一般氣體、特種氣體；在致敏性藥物、某些甾體藥物、高活性、有毒性藥物生產過程還會有相應的有害物質排出或泄漏入潔淨室內，為此對於上述產品生產用潔淨室內可能排出各種有害物質、氣體或粉塵的生產工藝設備或工序設置局部排風裝置或全室排風裝置，按生產工藝過程排出的廢氣的類型可將排風裝置（係統）大體劃分為下列幾種類型。
1）一般排風係統
這是指在生產輔助用室、生活用室，如值班室、衛生間等排出的一般廢氣，大多數情況下不需要進行特殊處理即可直接排入大氣。
2）有機氣體排風係統
在產品生產中使用各類有機物質、溶劑作為原輔材料或清洗劑時，都將會在相關的場所或設備處散發有機物質、溶rong劑ji的de氣qi體ti，對dui這zhe類lei場chang所suo或huo設she備bei均jun應ying設she置zhi排pai風feng裝zhuang置zhi。在zai一yi般ban情qing況kuang下xia，有you機ji排pai風feng係xi統tong中zhong的de有you機ji氣qi體ti濃nong度du是shi很hen低di的de，若ruo能neng達da到dao標biao準zhun規gui定ding的de大da氣qi排pai放fang標biao準zhun時shi可ke直zhi接jie排pai入ru大da氣qi，不bu需xu設she置zhi廢fei氣qi處chu理li裝zhuang置zhi；當排風係統中有機氣體濃度超過規定時，應設有機氣體處理裝置，經過處理達標後才能排入大氣。有機排氣的淨化處理有活性炭吸附法、液體吸收法和催化燃燒法等，活性炭吸附注主要用於中小流量的不含粉塵、膠粘物質的苯類、汽油類有機排氣的處理；液體吸收法，設備簡單、耗能低，但吸收效率不高；催化燃燒法主要用於較高濃度的苯類、醇類、脂類、汽油等有機排氣的處理。有機氣體處理裝置應根據排風係統所含有機物質的品種、濃度情況選用相應的處理設備。
3）酸性氣體排風係統
在產品生產中的濕法化學腐蝕、酸液清洗、實驗室內均有酸性氣體排出，在這類酸性氣體的排風係統通常設置溫式洗氣吸收塔，處理後排入大氣，圖5-56是幾種吸收式洗氣塔的形式。實際設計時應根據酸性氣體的類型、濃度選用合適的吸收液和吸收塔的形式[20]。
4）堿性氣體排風係統
對生產過程中的各種爐子、高gao溫wen滅mie菌jun設she備bei等deng均jun有you熱re氣qi排pai出chu，由you於yu排pai氣qi溫wen度du校xiao高gao，有you時shi可ke采cai用yong熱re回hui收shou等deng方fang式shi進jin行xing處chu理li，若ruo排pai氣qi量liang較jiao小xiao或huo不bu便bian進jin行xing處chu理li時shi，在zai采cai取qu必bi要yao的de隔ge熱re措cuo施shi後hou直zhi接jie排pai入ru大da氣qi。
6）含粉塵的排風係統
鑒於產品品種不同、生產工藝過程不同，排氣中的粉塵性質、濃度均各不同，應根據其排氣中的粉塵性質、濃度選用各類除塵裝置，一般采用布袋除塵器、帶過濾元件的過濾裝置[21]，圖5-57是一種帶過濾元件的過濾除塵器。
此ci類lei裝zhuang置zhi都dou可ke以yi采cai取qu取qu拍pai打da反fan吹chui或huo更geng換huan過guo濾lv器qi元yuan件jian的de方fang式shi，使shi除chu塵chen裝zhuang置zhi可ke較jiao長chang期qi的de使shi用yong。對dui於yu某mou些xie含han塵chen濃nong度du很hen高gao的de排pai風feng係xi統tong根gen據ju工gong程cheng具ju體ti情qing況kuang有you時shi尚shang需xu設she置zhi二er級ji除chu塵chen裝zhuang置zhi將jiang大da部bu分fen粉fen塵chen去qu除chu後hou再zai送song入ru前qian述shu的de布bu袋dai或huo過guo濾lv除chu塵chen裝zhuang置zhi，這zhe樣yang做zuo才cai能neng滿man足zu大da氣qi排pai放fang標biao準zhun的de要yao求qiu，從cong而er穩wen定ding、經濟地運行。
7）特殊氣體排氣係統
zaibandaotijichengdianlushengchanzhongchangchangxushiyongyixieteshuqiti，qizhongxuduoteshuqitijunshuyuyiranyibaohuoyoudushenzhijuduhuoyoufushixingdeqiti，duiyuzheleipaiqixitongshouxianyinganteqidepinzhong、性質劃分排氣係統，必須防止在排氣係統中產生化學反應；其次應選用專用的廢棄處理裝置，特氣排氣的處理設備由稀釋法、吸收法、吸附法、催化燃燒法等；再者是排氣係統的設備、管道的材料選用必須根據排氣中的特氣性質選擇相適應的額的材質，並不得與排放的特氣發生反應。
8）藥品生產中有害、有毒的排風係統
在生產或分裝青黴素等強致敏性藥物、某些甾體藥物以及高活性、有毒藥物的房間、erleiweixianduyishangbingyuanticaozuoqudepaifengkou，yinganzhuanggaoxiaoguolvqi，shizhexieyaowuyinqidewuranweixianjiangdizhidixiandu。bingqiecileipaifengxitongdepairudaqidepaifengkouyuqitayaopinshengchanyongjinghuakongtiaoxitongdexinfengjinfengkouyingxianggeyidingjuli。
1）一般排風係統
這是指在生產輔助用室、生活用室，如值班室、衛生間等排出的一般廢氣，大多數情況下不需要進行特殊處理即可直接排入大氣。
2）有機氣體排風係統
在產品生產中使用各類有機物質、溶劑作為原輔材料或清洗劑時，都將會在相關的場所或設備處散發有機物質、溶rong劑ji的de氣qi體ti，對dui這zhe類lei場chang所suo或huo設she備bei均jun應ying設she置zhi排pai風feng裝zhuang置zhi。在zai一yi般ban情qing況kuang下xia，有you機ji排pai風feng係xi統tong中zhong的de有you機ji氣qi體ti濃nong度du是shi很hen低di的de，若ruo能neng達da到dao標biao準zhun規gui定ding的de大da氣qi排pai放fang標biao準zhun時shi可ke直zhi接jie排pai入ru大da氣qi，不bu需xu設she置zhi廢fei氣qi處chu理li裝zhuang置zhi；當排風係統中有機氣體濃度超過規定時，應設有機氣體處理裝置，經過處理達標後才能排入大氣。有機排氣的淨化處理有活性炭吸附法、液體吸收法和催化燃燒法等，活性炭吸附注主要用於中小流量的不含粉塵、膠粘物質的苯類、汽油類有機排氣的處理；液體吸收法，設備簡單、耗能低，但吸收效率不高；催化燃燒法主要用於較高濃度的苯類、醇類、脂類、汽油等有機排氣的處理。有機氣體處理裝置應根據排風係統所含有機物質的品種、濃度情況選用相應的處理設備。
3）酸性氣體排風係統
在產品生產中的濕法化學腐蝕、酸液清洗、實驗室內均有酸性氣體排出，在這類酸性氣體的排風係統通常設置溫式洗氣吸收塔，處理後排入大氣，圖5-56是幾種吸收式洗氣塔的形式。實際設計時應根據酸性氣體的類型、濃度選用合適的吸收液和吸收塔的形式[20]。
4）堿性氣體排風係統
zaipaifengxitongqitizhonghanyoujianxingwuzhihuozaipaiqizhonghunrujianxinghuaxueshiji，yusuanxingqitipaifengxitongleisi，tongchangcaiyongshishixiqixishoutachulihoupairudaqi。jinnianlai，youyudaqipaifangbiaozhunyuelaiyueyange，xuduihanyoujianxingwuzhi（或酸性物質）濃度較低的排氣也應進行淨化處理才能達到排放標準，為此可采用專用吸附劑對堿性排氣（或酸性排氣）進(jin)行(xing)處(chu)理(li)達(da)標(biao)後(hou)才(cai)能(neng)排(pai)入(ru)大(da)氣(qi)，此(ci)種(zhong)吸(xi)附(fu)劑(ji)一(yi)般(ban)為(wei)一(yi)次(ci)性(xing)的(de)，使(shi)用(yong)後(hou)應(ying)進(jin)行(xing)集(ji)中(zhong)處(chu)理(li)，通(tong)常(chang)作(zuo)為(wei)固(gu)體(ti)廢(fei)棄(qi)物(wu)由(you)城(cheng)市(shi)垃(la)圾(ji)處(chu)理(li)場(chang)集(ji)中(zhong)處(chu)理(li)。
對生產過程中的各種爐子、高gao溫wen滅mie菌jun設she備bei等deng均jun有you熱re氣qi排pai出chu，由you於yu排pai氣qi溫wen度du校xiao高gao，有you時shi可ke采cai用yong熱re回hui收shou等deng方fang式shi進jin行xing處chu理li，若ruo排pai氣qi量liang較jiao小xiao或huo不bu便bian進jin行xing處chu理li時shi，在zai采cai取qu必bi要yao的de隔ge熱re措cuo施shi後hou直zhi接jie排pai入ru大da氣qi。
6）含粉塵的排風係統
鑒於產品品種不同、生產工藝過程不同，排氣中的粉塵性質、濃度均各不同，應根據其排氣中的粉塵性質、濃度選用各類除塵裝置，一般采用布袋除塵器、帶過濾元件的過濾裝置[21]，圖5-57是一種帶過濾元件的過濾除塵器。
此ci類lei裝zhuang置zhi都dou可ke以yi采cai取qu取qu拍pai打da反fan吹chui或huo更geng換huan過guo濾lv器qi元yuan件jian的de方fang式shi，使shi除chu塵chen裝zhuang置zhi可ke較jiao長chang期qi的de使shi用yong。對dui於yu某mou些xie含han塵chen濃nong度du很hen高gao的de排pai風feng係xi統tong根gen據ju工gong程cheng具ju體ti情qing況kuang有you時shi尚shang需xu設she置zhi二er級ji除chu塵chen裝zhuang置zhi將jiang大da部bu分fen粉fen塵chen去qu除chu後hou再zai送song入ru前qian述shu的de布bu袋dai或huo過guo濾lv除chu塵chen裝zhuang置zhi，這zhe樣yang做zuo才cai能neng滿man足zu大da氣qi排pai放fang標biao準zhun的de要yao求qiu，從cong而er穩wen定ding、經濟地運行。
7）特殊氣體排氣係統
zaibandaotijichengdianlushengchanzhongchangchangxushiyongyixieteshuqiti，qizhongxuduoteshuqitijunshuyuyiranyibaohuoyoudushenzhijuduhuoyoufushixingdeqiti，duiyuzheleipaiqixitongshouxianyinganteqidepinzhong、性質劃分排氣係統，必須防止在排氣係統中產生化學反應；其次應選用專用的廢棄處理裝置，特氣排氣的處理設備由稀釋法、吸收法、吸附法、催化燃燒法等；再者是排氣係統的設備、管道的材料選用必須根據排氣中的特氣性質選擇相適應的額的材質，並不得與排放的特氣發生反應。
8）藥品生產中有害、有毒的排風係統
在生產或分裝青黴素等強致敏性藥物、某些甾體藥物以及高活性、有毒藥物的房間、erleiweixianduyishangbingyuanticaozuoqudepaifengkou，yinganzhuanggaoxiaoguolvqi，shizhexieyaowuyinqidewuranweixianjiangdizhidixiandu。bingqiecileipaifengxitongdepairudaqidepaifengkouyuqitayaopinshengchanyongjinghuakongtiaoxitongdexinfengjinfengkouyingxianggeyidingjuli。
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